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会议城市在羊城。
地点放在羊城奥体中心,可容纳8万人,挤一挤十万人也是可以的。
具体的后勤保证什么,陈诺听的索然无味,便离开了。
接下来的时间里,陈诺继续刷生物科学和神经科学、脑科学的书本,如此过了两三天后,那台吃灰的7nm光刻机终于运到了中科院的一个研究所的无尘车间内。
陈诺倒是想运到未来科技实验室,可这玩意有近200吨,他们实验室可没地方安置这个庞然大物。
“怎么样,第一次看到这个大家伙震撼吧!”
周正峰指着光刻机笑了。
为了将这台光刻机从江城运到京都,一路上可是拆了好几个收费站,足足花了六七天时间才弄到这里来。
陈诺围着这台号称人类智慧集大成的产物转了几圈,外部有着真空封闭的隔板,什么也看不到。
“陈教授,我们运过来简单,但这一路上的震动等等,肯定会有很大的误差,不经过一段时间的调试,是无法使用的。”
“浪费那个时间干嘛,调试好了也要被我拆掉的。”
陈诺摆了摆手:“只要能启动就行。”
“行了,您该忙啥忙啥吧,这里交给我。对了,再给我找几个身强力壮的人来,这玩意拆起来麻烦,下午两点前报到就行。”
周正峰咧嘴笑了一下后,转身就走。
等到所有人离去后,陈诺突然道:“一号,接管光刻机系统,切断信号。”
“收到,教授!”
“教授,已经接管,完成操作!”
几秒钟后,一号就传来了回应,效率相当的高。
陈诺拿过旁边的操作说明手册开启学神附身卡看了起来。
研究的时间相当的快,当他看完操作手册后,不得不感叹光刻机制造商的牛逼,还有比制造商更牛逼的设计师们。
只是再精密,今天也难逃被他拆掉的厄运。
第一天,陈诺将内部封闭框架等给拆掉了,这样设备的作用是将工作台与外部环境隔离,保持水平,减少外界震动干扰,并维持稳定的温度、压力。
第二天,测量台、曝光台被他弄下来了,这两个称之为双工作台系统,承载硅片的工作台。
……
第七天,能量控制系统也被他拆下来了,这个玩意控制最终照射到硅片上的能量,直接影响到芯片质量。
整整七天的时间,陈诺将这台价值5亿元的光刻机拆成了十二个子系统。
他对整个光刻机的组成部分了然于心,零部件啥的他可没那个闲心去研究。
每拆一个大部分,他都会对其中的一些部件、原理、远转等研究一翻。
看着眼前被拆的七零八落的光刻机,心中满是感慨。
这种级别的光刻机真如外国的专家所说,给我们全套图纸我们也是搞不出来,一是零部件的精度问题,二是组装精度问题。
这是任何一个国家或者公司能搞定的,涉及到了光学镜头、光源、轴承等等。
说amsl是制造商,不如说他们是设计商、组装商更为恰当,只要涉及的相关光源、镜片等等有一个卡了它,他们就彻底的完蛋。
可惜在政治的意图下,这种可能性不大。
这台光刻机使用的是fd-soi工艺,工艺在制造过程中相对简单,但是soi基片价格稍贵。
而陈诺的finfet工艺制造过程更为复杂,但基片价格便宜,让两者的实际制造成本相差不大。
但不管怎么说,至少是用另一种方式,绕过了国外设置的专利壁垒。
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